玻璃是日常生活中非常常見的一種材料，除了用作建材外，玻璃還是涂層、覆膜等工藝的常用載體。由于玻璃具有化學(xué)惰性，受環(huán)境影響性質(zhì)穩(wěn)定，用常規(guī)

的清洗方法對(duì)玻璃基片進(jìn)行清洗干燥處理，難以徹底清除吸附在表面的異物。玻璃材料經(jīng)等離子表面處理機(jī)清洗處理后，可立即進(jìn)入下一工序。因此，玻璃

等離子體表面處理是一個(gè)穩(wěn)定而有效的工藝過程。不僅能有效去除吸附在基片上的環(huán)境氣體分子、水汽和污染物，基片表面會(huì)形成清潔活化的微觀粗糙面，

而且避免了二次污染。

    本實(shí)驗(yàn)采用PLUTO-M等離子清洗機(jī)對(duì)玻璃基片表面的高分子膜污染物進(jìn)行清除

    處理?xiàng)l件：氧氣，13.56MHz

    結(jié)論：經(jīng)過PLUTO-M等離子清洗機(jī)處理后，可見玻璃表面的高分子膜污染物基本已被清除，表面能得到改善。