基于PEDOT∶PSS的高靈敏度寬量程透明聚合物應變傳感器
樣品簡介：
柔性應變傳感器通常難以兼具高靈敏度、寬量程以及透明的性能。提出一種導電層為聚(3,4-乙烯二氧基噻吩)-聚(苯乙烯磺酸)(PEDOT∶PSS)的三明治結構聚合物柔性應變
傳感器,該傳感器在兼顧高靈敏度和寬量程的同時具有高透明性。通過旋涂工藝在聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底上制備了可拉伸的透明導電聚合物薄膜；基于掩模氧等離子體
刻蝕工藝對聚合物薄膜進行了圖案化處理;通過拉伸得到表面具有微裂紋的全聚合物柔性應變傳感器。
等離子清洗機處理：
真空干燥箱中加熱2 h，烘干后隨爐自然冷卻。③圖案化導電單元:以鏤空的鋼網(wǎng)作為掩蔽層與上一步得到的聚合物薄膜緊密貼合;將鋼網(wǎng)掩蔽下的聚合物薄膜放入等離子清洗機 (PLUTO-F,上海沛沅儀器設備有限公司)中以150 W的處理功率處理900s,得到圖案化的導電單元。
PDMS/PEDOT∶PSS/PDMS柔性透明應變傳感器的制作流程
PLUTO-F(14.5L)實驗室方腔等離子清洗機
PLUTO-F型等離子體表面處理系統(tǒng)是一款功能強大的桌面型表面等離子體設備，非常適合于高校、科學研究所和企業(yè)實驗室，或者小批量生產(chǎn)，需要低成本運作且高效處
理的企業(yè)。它具備等離子設備幾乎所有的功能，具有較大的腔體尺寸和靈活的電極配置方式
